juurte kruviga vaakumpumpade seade pooljuhtide tootmiseks

Roots-kruvivaakumpump ühendab endas Roots-pumba ja kruvipumba eelised, pakkudes puhtat, tõhusat ja õlivaba vaakumlahendust nõudlikele tööstus- ja laboratoorsetele rakendustele. Tänu vahetihendi konstruktsioonile ja määrdeõli puudumisele säilitavad need pumbad kogu tööaja jooksul kõrge puhtuse ja erakordse jõudluse.

Roots-tüüpi kruvivaakumpumba tööpõhimõte

• Kruvivaakumpump (eelaste):Toimib eelastme pumpana, pakkudes suurt pumpamiskiirust ja madalat väljalaske rõhku. Mehhaaniline kompressioon täpse kruvi vahekauguse abil tagab tõhusa, madala müra ja vibratsiooniga töö.
• Roots vaakumpump (peamine/vahe):Sünkroonselt pöörlevad kaks rootorit suunavad heitgaasi imemisest väljalaske kambrisse. Vahetihendus takistab õli saastumist, säilitades puhtad vaakumitingimused.
• Seeriatöö:Mõlemad pumbad töötavad seerias, kusjuures kruvipump suurendab vaakumitaset ja Roots-pump tagab stabiilse ja pideva pumbamisefektiivsuse.

Töökindluse eelised

1. Energiasäästlikkus:Optimeeritud pumbamiskiiruse ja vaakumtaseme suhe vähendab energiatarbimist, ületades traditsiooniliste vaakumsüsteemide energiatõhususe.
2. Kõrge efektiivsus:Saavutab üle 90% pumbatõhususe, pakkudes erinevate protsesside jaoks kõrget vaakumitaset madala energiatarbimisega.
3. Ohutuse kaitse:Täiustatud juhtimissüsteem automaatse käivitamise/seiskamise, ülekoormuse, ülevoolu ja vee katkestamise kaitsega tagab pikaajalise stabiilsuse.
4. Kompaktne disain:Vertikaalne virnastamine või redelkonstruktsioon vähendab ruumivajadust, mis on ideaalne ruumipiirangutega tehastele ja laboritele.
5. Paindlik konfiguratsioon:Reguleeritav pumbade vaheline pumbamiskiiruse suhe (1:2 kuni 1:8) võimaldab kohanduda erinevate töönõuetega.
6. Korrosioonikindlus:Ülevoolupinnad on töödeldud või valmistatud korrosioonikindlatest materjalidest, mis sobivad korrosiivsete gaaside ekstraheerimiseks ja tööks rasketes tingimustes.

Rakendusalad

• Keemiatööstus:Lenduvate orgaaniliste lahustite ja gaaside ekstraheerimine ning kasutamine vaakumreaktorites – laialdaselt kasutatav keemia- ja farmaatsiatööstuses.
• Pooljuhtide tootmine:Toetab vaakumkattumise, puhastamise ja söövitamisprotsesse.
• Toiduainetööstus:Oluline toiduainete pakendamisel, dehüdratsioonil ja vaakumkuivatamisel.
• Metallurgiatööstus:Eemaldab gaasi metallurgiakateldes ja laborites, et stabiliseerida sulatusprotsesse.
• Laboratooriumid ja teadusuuringud:Ideaalne vaakumkatseteks ja gaasi taaskasutamiseks teaduslikes tingimustes.
• Elektroonikatööstus:Kasutatakse integraallülituste tootmises, ekraanide vaakumkatmisel ja muudes elektroonika tootmisprotsessides.